3月29日消息，据中欣晶圆发布，Ferrotec（中国）旗下安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司（以下称安徽富乐德）投资建设年产240万枚半导体晶圆再生项目，计划总投资10亿元。该项目建设周期15个月，建成后将形成年产240万枚300mm半导体晶圆精密再生生产线。
中欣晶圆介绍称，该项目采用300mm晶圆用全自动精密CMP研磨机，研磨加工实现全程自动化，厚度损失少；设备内部利用HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤装置，保持高洁净度；另外量测设备采用美国KLA-Tencor SP5颗粒检测仪,具有DUV灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆表面检测系统。
据了解，该项目投资方安徽富乐德由日本Ferrotec（日本磁性流体技术控股有限公司）在中国的全资子公司上海申和热磁电子有限公司于2019年在铜陵发起创立。其中，上海申和为日本磁性技术控股股份有限公司全资子公司，而上海申和持有安徽富乐德80.95%的股权。日本Ferrotec通过控股公司间接持有安徽富乐德共计81.8%股权。
而项目中所涉及的“晶圆再生”则是指，对晶圆加工中的挡片、控片进行回收加工。挡片与控片在晶圆制程中起到监控测试与维持稳定的作用。由于制作晶圆对硅片表面平整性的要求高，晶圆厂需要时刻对制造设备进行监测测试与维持稳定，以保证成品率。这两个过程对硅片具有破坏性，因此往往使用无图形硅片，即控片、挡片。挡、控片用量大，且随着制程推进，需求有扩大趋势，这一趋势也推动了晶圆再生的需求。
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